반도체플라즈마공정 Semiconductor Plasma Processing, SPP 연구실은 반도체 재료, 공정, 소자 연구를 통해서 반도체 설계 및 제조 분야 산업에서 혁신을 주도할 신소재 전문가를 양성하고자 합니다. SPP Lab은 강유전 반도체 메모리, 전하 트랩 메모리, 뉴모로픽 시냅스 소자, 플라즈마 원자층 단위의 반도체 공정 및 장비에 대한 연구를 하고 있으며, 반도체용 박막 증착, 플라즈마 원자층 식각, 플라즈마 진단 및 장비설계에 대한 기술을 보유하고 있습니다. 아울러 기술과 관련된 여러 장비들을 보유하여 보다 높은 수준의 연구기술 개발을 지향하고 있습니다.

Semiconductor Plasma Processing (SPP)Lab aims to educate new material experts who will lead semiconductor design and manufacturing innovation by researching semiconductor materials, processing, and devices. SPP Lab is studying ferroelectric semiconductor memory, charge trapping memory, neuromorphic synapse device, and plasma atomic layer semiconductor process and equipment for the next-generation semiconductor industry. In addition, SPP Lab possesses various semiconductor-related equipment for developing higher-level research technologies.