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2020-02-21
11_바이오헬스용 뿌리기술
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10_Piezoelectric material and application
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[2000] Effects of Electrodes on the Electric Properties of Pb(Zr,Ti)O3 Films Deposited by Electron Cyclotron Resonance Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
 S.O. Chung, H.C. Lee, and W.J. Lee; Effects of Electrodes on the Electric Properties of Pb(Zr,Ti)O3 Films Deposited by Electron Cyclotron Resonance Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition, Jpn. J. Appl. Phys. 39 (2000) 1203 
[2010] 졸겔 법으로 제조한 압전 센서용 PZT 박막의 결정 배향 및 전기적 특성 연구
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